协同Star | 华卓精科：攻克芯片制造核心装备技术 打造未来精密之芯

光刻机，被全球业界人士们称呼为“芯片制造装备皇冠上的明珠”，是生产制造芯片的核心设备之一。我国集成电路产业发展受制于集成电路制造装备，尤其是光刻机这一技术难度最高、最核心的装备。为改变这一局面，志在摘下这颗“明珠”的我国科技企业正在自主研发的创新之路上开疆扩土。
 

北京华卓精科科技股份有限公司就是一家致力于高端光刻机国产化的企业。由中关村协同创新基金系子基金“南宁水木愿景创业投资中心（有限合伙）”投资的“华卓精科”，由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和国家02专项的支持下创立，目前已攻克了最尖端的光刻机双工件台技术，并实现了产品化、产业化，标志着我国成为继荷兰后世界上第二个掌握这一顶尖技术的国家。
 

核心竞争力——
光刻机负责实现芯片制造过程中最核心的图形转移，其性能直接决定芯片的性能，主要是由曝光光学系统和超精密工件台等构成，其中超精密工件台是光刻机产品平台的核心子系统。
 

为实现在芯片上极端精密的曝光工艺，光刻机的工件台系统需要在极高的运动速度下实现与掩模台优于2纳米的同步运动精度。而2纳米同步运动精度则可以这样比喻：两架以1000公里时速同步飞行的飞机在任意时刻的位置偏差不超过一个微米（头发丝直径的八十分之一）。如此极端的性能指标，使光刻机工件台成为当之无愧的“精密机械之王”。目前最尖端的光刻机均采用双工件台技术，国产光刻机要想在激烈的市场竞争中占有一席之地，就必须采用双台技术。
 

孵化自清华大学的华卓精科创业团队，从2009年开始承担国家光刻机重大专项，突破了包括超精密机械设计、超精密测量、超精密运动控制等多项关键技术。于2014年成功研制出我国第一台采用平面电机技术的65纳米光刻机双工件台样机，实现2纳米同步运动精度，达到国际同类产品先进水平，实现了跨越式发展，使我国成为世界上第二个掌握该技术的国家。

目前，该成果已经实现产业化，2015年华卓精科与上海微电子装备（集团）有限公司签订了3台干式双工件台产品供货合同，总价值1.2亿元。
 

而华卓精科在国家重大专项支持下正在开发新一代浸没式双工件台。
 

同时，基于“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用”，华卓精科研发出面向高端制造装备的系列化精密运动系统，已批量应用于半导体制造、生物检测等行业。
 

目前，华卓精科面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业，提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务，主营产品包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面。
 

公司团队——
公司由清华IC装备团队创立。首席科学家朱煜教授是清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师，科技部首批重点领域“超精密机械与测控创新团队”负责人，担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长、技术副总师，装备组、光刻机组组长。
 

公司资质及荣誉——
高新技术企业、2018年度北京市科学技术一等奖、第二十届中国专利银奖、年度政府采购中关村新技术产品——首台（套）重大技术装备示范项目、首届集成电路产业联盟技术创新奖。
 

公司网站——
http://www.u-precision.com/